메틸트리클로로실란을 이용한 화학증착 탄화규소의 증착율 및 굽힘강도 특성에 미치는 온도의 영향 by 송준백, Jun-baek Song, 임항준, Hangjoon Im, 김영주, Young-ju Kim, 정연웅, Youn-woong Jung, 류희범, Hee-beom Ryu, 이주호, Ju-ho Lee

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