热退火对超冶金级硅中缺陷的影响

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Published in:中国有色金属学报：英文版 2011, Vol.21 (6), p.1340-1347
Main Author: 吴洪军 马文会 陈秀华 蒋咏 梅向阳 张聪 吴兴惠
Format: Article
Language:English
Subjects:
位错密度
晶界
超冶金级硅
退火
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Description
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ISSN:1003-6326