CVD掺硅金刚石残余应力的X射线衍射和拉曼光谱分析（英文）

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Published in:中国有色金属学报：英文版 2012, Vol.22 (12), p.3021-3026
Main Author: 陈苏琳 沈彬 张建国 王亮 孙方宏
Format: Article
Language:English
Subjects:
X射线衍射
拉曼光谱
掺硅金刚石薄膜
残余应力
硅掺杂
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Description
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ISSN:1003-6326