Charakterisierung von Schichten und Platten: Zerstörungsfreie und berührungslose Prüfung mit Hilfe von Mikrowellen

• Published in: Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2011-04, Vol.23 (2), p.20-22
• Main Author: Sklarczyk, Christoph
• Format: Article
• Language: English
• ISSN: 0947-076X; 1522-2454
• DOI: 10.1002/vipr.201100453

Mit Hilfe von Mikrowellen lassen sich die unterschiedlichsten Werkstoffe in Form von Schichten, Platten oder Objekten komplexer Geometrie hinsichtlich ihrer Materialeigenschaften, Fehler und Geometrie charakterisieren. Die Prüfung erfolgt zerstörungsfrei und kann berührungslos und schnell durchgeführt werden. Im Durchstrahlungsmodus können nichtmetallische und elektrisch schwach leitende Werkstoffe bis zu einer Dicke von mehreren cm untersucht werden, metallische Werkstoffe dagegen je nach Leitfähigkeit bis zu einer Dicke von mehreren µm oder nm. Im Reflexionsmodus lassen sich auch elektrisch stärker leitende Materialien prüfen. Characterization of layers and sheets – nondestructive and contactless testing with the help of microwaves With the help of microwaves a variety of materials in the form of layers, plates, or objects of complex geometry can be characterized in terms of their material properties, geometry and defects. The test is non‐destructive and can be performed quickly and without contact. In transmission mode non‐metallic and electrically slightly conductive materials can be investigated with a thickness of up to several cm while in metallic materials the testable thickness is in the micronand nanometer‐range. In reflection mode materials with higher electric conductivity can be tested, too.