Evaluierung von Abpumpkurven am Beispiel einer Glimmentladungsquelle

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Published in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2008-06, Vol.20 (3), p.30-35
Main Authors: Klemm, Denis, Hoffmann, Volker, Edelmann, Christian
Format: Article
Language:ger
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ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.200800357