Plasmatechnische Werkzeuge der Medizintechnik

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Published in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2012-12, Vol.24 (6), p.26-29
Main Authors: Klinkenberg, Ernst-Dieter, Neumann, Hans-Georg
Format: Article
Language:ger
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Description
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ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.201200505