Unterdrückung des Defektwachstums

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2010-04, Vol.22 (2), p.39-42
Main Authors: Kaulfuß, Frank, Zimmer, Otmar
Format: Article
Language:ger
Online Access:Get full text
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:
ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.201000412