라만 분광법을 이용한 반도체 공정 중 표면 분석

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Published in:Biuletyn Uniejowski 2024, Vol.57 (2), p.71-85
Main Authors: 최태민(Tae Min Choi), 유진욱(JinUk Yoo), 정은수(Eun Su Jung), 이채연(Chae Yeon Lee), 이화림(Hwa Rim Lee), 김동현(Dong Hyun Kim), 표성규(Sung Gyu Pyo)
Format: Article
Language:Korean
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Description
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ISSN:1225-8024
2299-8403