低温条件下在水溶液中制备二氧化钛薄膜

利用化学浴沉积和层-层自组装方法,在含有自组装涂层硅衬底上制备二氧化钛薄膜.研究温度对二氧化钛薄膜结构、厚度和微观形貌的影响.紫外可见光谱结果表明,钛过氧配合物在410 nm处的吸收峰强度随着温度的升高而逐渐减小.由XRD分析结果可知,沉积的纳米二氧化钛薄膜为无定形层.SEM分析结果表明,在温度60℃、时间2h时可制得连续、致密、均一的二氧化钛薄膜,粒度分布为20～40 nm间.EDS分析表明薄膜的化学组成为O和Ti,两者的摩尔比为2.2∶1....

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Published in:中国有色金属学报（英文版） 2013, Vol.23 (5), p.1390-1394
Main Authors: 牟文宁, 翟玉春, 石双志
Format: Article
Language:Chinese
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Description
Summary:利用化学浴沉积和层-层自组装方法,在含有自组装涂层硅衬底上制备二氧化钛薄膜.研究温度对二氧化钛薄膜结构、厚度和微观形貌的影响.紫外可见光谱结果表明,钛过氧配合物在410 nm处的吸收峰强度随着温度的升高而逐渐减小.由XRD分析结果可知,沉积的纳米二氧化钛薄膜为无定形层.SEM分析结果表明,在温度60℃、时间2h时可制得连续、致密、均一的二氧化钛薄膜,粒度分布为20～40 nm间.EDS分析表明薄膜的化学组成为O和Ti,两者的摩尔比为2.2∶1.
ISSN:1003-6326
DOI:10.1016/S1003-6326(13)62608-4