二氧化钛有机多层纳米复合薄膜的制备、形成机理和力学性能

基于层层自组装技术和化学与沉积方法,由四氯化钛在酸性水溶液中水解在含有自组装涂层的硅基底上沉积二氧化钛有机多层纳米复合薄膜.分别采用X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕深度传感技术研究薄膜的化学组成、表面形貌和力学性能.结果表明,薄膜的主要化学成分为Ti和O,成核和生长的主要机理是均相成核,薄膜层数对薄膜的表面形貌和粗糙度影响很大.此外,纳米压痕实验表明,与单层的二氧化钛薄膜相比,多层纳米二氧化钛薄膜的硬度和断裂韧性得到显著提高....

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Published in:中国有色金属学报（英文版） 2015, Vol.25 (4), p.1128-1134
Main Authors: 牟文宁, 翟玉春, 石双志
Format: Article
Language:Chinese
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Description
Summary:基于层层自组装技术和化学与沉积方法,由四氯化钛在酸性水溶液中水解在含有自组装涂层的硅基底上沉积二氧化钛有机多层纳米复合薄膜.分别采用X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕深度传感技术研究薄膜的化学组成、表面形貌和力学性能.结果表明,薄膜的主要化学成分为Ti和O,成核和生长的主要机理是均相成核,薄膜层数对薄膜的表面形貌和粗糙度影响很大.此外,纳米压痕实验表明,与单层的二氧化钛薄膜相比,多层纳米二氧化钛薄膜的硬度和断裂韧性得到显著提高.
ISSN:1003-6326
DOI:10.1016/S1003-6326(15)63707-4