用于环境抗菌的氧稳定W?Ag薄膜

在溅射沉积的钨薄膜中加入氧以降低薄膜的残余应力,进一步添加含量高达14.3％(摩尔分数)的银以进行抗菌功能化.采用SEM-EDX、XPS和XRD分析薄膜.薄膜仅检测到β-W或W3O相的X射线衍射峰.氧和银主要以固溶原子的形式存在于薄膜中.银的加入降低了薄膜的硬度(仍然≥10.3 GPa)和弹性模量.动电位极化实验表明WO膜的腐蚀电流密度低于钨膜,而银改变了膜层的腐蚀行为.薄膜表面的贫银氧化钨层抑制了银离子在水中的释放,WOAg膜对大肠杆菌具有良好的抗菌活性.WOAg薄膜将在环境和其他抗菌应用中发挥作用....

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Published in:中国有色金属学报（英文版） 2023, Vol.33 (2), p.531-538
Main Authors: 付涛, 王丽君, 王应杰, 陈东圳, 沈步云
Format: Article
Language:Chinese
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Description
Summary:在溅射沉积的钨薄膜中加入氧以降低薄膜的残余应力,进一步添加含量高达14.3％(摩尔分数)的银以进行抗菌功能化.采用SEM-EDX、XPS和XRD分析薄膜.薄膜仅检测到β-W或W3O相的X射线衍射峰.氧和银主要以固溶原子的形式存在于薄膜中.银的加入降低了薄膜的硬度(仍然≥10.3 GPa)和弹性模量.动电位极化实验表明WO膜的腐蚀电流密度低于钨膜,而银改变了膜层的腐蚀行为.薄膜表面的贫银氧化钨层抑制了银离子在水中的释放,WOAg膜对大肠杆菌具有良好的抗菌活性.WOAg薄膜将在环境和其他抗菌应用中发挥作用.
ISSN:1003-6326
DOI:10.1016/S1003-6326(22)66125-9