Unterdrückung des Defektwachstums

• Published in: Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2010-04, Vol.22 (2), p.39-42
• Main Authors: Kaulfuß, Frank, Zimmer, Otmar
• Format: Article
• Language: English
• ISSN: 0947-076X; 1522-2454
• DOI: 10.1002/vipr.201000412

Klassische Hartstoffschichten, wie z. B. Metallnitride, ‐oxide oder hartamorphe Kohlenstoffschichten werden gewöhnlich in Schichtdicken bis ca. 10 μm angewendet. Die Herstellung solcher Schichten wird industriell sehr gut beherrscht, weshalb sie zum Verschleißschutz auf Werkzeugen und Komponenten eingesetzt werden. Die Herstellung dickerer Schichten (>10 μm) mit PVd‐Verfahren ist eine Herausforderung. Neben störenden Eigenspannungszuständen bilden sich bei dickeren Schichten oft inhomogene Schichtstrukturen aus, die durch Wachstumsdefekte oder eingelagerte Partikel hervorgerufen werden. Deren Bildung oder zumindest deren weiteres Wachstum muss beim Beschichtungsprozess verhindert werden. Dies kann beispielsweise durch einen geeigneten Lagenaufbau der Schichten oder durch eine optimierte Prozessführung erreicht werden. über eine nachträgliche Schleifbearbeitung dieser Schichten konnte nachgewiesen werden, dass sie für eine Strukturierung ausreichend homogen sind. Damit ergeben sich zahlreiche neue Einsatzmöglichkeiten. Arc deposition with reduced defect growth Classical hard coatings such as nitrides, oxides or carbon coatings are normally used in a thickness range of under 10 microns. The preparation of such coatings can properly be handled in industry. They are used for wear resistant coatings of tools and components. The preparation of thicker coatings is a demanding task. Most of the coating materials have a high level of intrinsic stress. Also an inhomogeneous film structure can be observed in many cases, caused by growth defects or particles. This problem can be solved by a special layer design or a well adjusted coating process. The homogeneity of these coatings was demonstrated by a subsequent treatment by grinding. So a lot of new applications will become possible.